清洗良率：100%（距離30cm目視carrier表面無移動灰塵、毛絲及其它雜質；無因清洗新增加劃傷、劃痕；側面無臟物堆集；烘烤后干凈干燥，無水印水漬殘留）
本設備可實現(xiàn)單機作業(yè)與連線作業(yè)兩種模式 ●振動頻率可調，調節(jié)范圍為0-20Hz，調節(jié)視窗可視且頻率可監(jiān)控，可根據(jù)需求切換變頻振動 ●進水過濾系統(tǒng)，濾芯等級≤0.5μm ●離心清洗轉盤轉速：0-1000rad/min（0-1000rad/min可設置運行，1000rad/min以上嘗試） ●振動模塊：可實現(xiàn)多種清洗模式選擇，進行多段組合清洗設置
●清洗良率：≥ 99.5％(1um 以上塵點洗凈率，除二次污染外) ●可靈活單機、連線模式使用
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